（1）廢氣預處理設備，通過真空泵出口進入高效過濾箱。

（2）經過濾后的廢氣進入活性炭處理設備中，采用吸附濃縮——解吸脫附——催化燃燒的工藝流程。采取單氣路工作方式，由多個活性炭吸附床，一個催化燃燒器（輔之低壓風機、閥門等構成）。經攔截捕捉后的廢氣送入活性炭吸附床，廢氣送入活性炭吸附床Ⅰ、Ⅱ、進行吸附，當活性炭吸附床Ⅰ接近飽和時，首先將處理氣體自動切換到活性炭吸附床Ⅲ（飽和活性炭吸附床Ⅰ自動停止吸附操作），然后用熱氣流對飽和的活性炭吸附床進行解吸脫附，將有機物從活性炭上脫附下來。在脫附過程中，有機廢氣已被濃縮，濃度較原來提高幾十倍，達2000ppm以上，濃縮廢氣送到催化燃燒裝置，最后被分解為CO2與H2O排出。

（3）完成解吸脫附以后活性炭吸附床Ⅰ進入待用狀態(tài)，待活性炭吸附床Ⅱ接近飽和時，系統(tǒng)再自動切換回來，同時對飽和活性炭吸附床Ⅱ進行解吸脫附，如此循環(huán)工作。

當有機廢氣的濃度達到2000ppm以上時，催化床內可維持自燃，不用外加熱。這個方案不僅大大節(jié)省了能量的消耗，而且由于催化燃燒器的處理能力僅需原廢氣處理量的1/10，所以同時也降低了設備投資。本方案既適合于連續(xù)工作，也適合于間斷工作。

（4）單臺活性炭吸附床的解吸脫附大約需要4-8小時，吸附風機用變頻器控制，可以依照需要的風量或者裝置入口的凈負壓來進行調節(jié)。整個系統(tǒng)采用PLC自動控制程序控制。